Auswahlkriterien für UHP-Druckminderer
Ultrahochreine Gase (UHP) werden beispielsweise bei der Produktion von Halbleitern, LEDs und Photovoltaikanlagen eingesetzt und müssen je nach Anwendung sehr unterschiedliche Anforderungen erfüllen. Um den Druck in einer UHP-Leitung sicher und effektiv zu reduzieren, ist ein zuverlässiger Druckminderer erforderlich.
Die Rotarex-Produktpalette bietet Lösungen für alle spezifischen Anforderungen an UHP-Druckminderer. (Foto: Rotarex)
Die Wahl des richtigen Druckminderer kann sich aufgrund der vielen für die Leistung relevanten Faktoren mitunter als mühsam erweisen. Moritz Knuplesch, der UHP Product Manager bei Rotarex in Luxemburg, nennt die Schlüsselelemente, die bei der Entscheidungsfindung berücksichtigt werden müssen: „Sicherheit, Reinheit und Präzision“.
Rotarex bietet UHP-Druckminderer an, die – wie der Rest der UHP-Produktpalette – nach dem gleichen Premium-Standard hergestellt wie die weltweit geschätzten Puretec-Gasflaschenventile des Unternehmens.
Sicherheit
Als erstes ist zu überlegen, für welches Gas der Druckminderer eingesetzt werden soll. Viele UHP-Gase sind toxisch, brennbar, oxidierend und/oder korrosiv. Jeder Rotarex-Druckminderer wird deshalb strengen Helium-Leckagetests unterzogen. So ist gewährleistet, dass kein schädliches Gas austritt. Außerdem muss das Gas mit dem Material des Druckminderers kompatibel sein.
Reinheit
Das P in UHP steht für pur bzw. rein. Selbstverständlich muss die Reinheit der Gase sichergestellt sein. Bei UHP-Gasen, die in Reinräumen eingesetzt werden (z. B. bei der Herstellung von Mikrochips und Halbleitern), kann schon die kleinste Unregelmäßigkeit großen Schaden anrichten. Natürlich werden die UHP-Produkte von Rotarex selbst vollständig in ISO 4-Reinräumen montiert, getestet und verpackt und zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit elektropoliert.
Je nach Reinheitsgrad des verwendeten Gases sind möglicherweise sogar die durch Gewinde- und Federmechanismen erzeugten Nanopartikel zu vermeiden. Rotarex bietet deshalb auch Druckminderer an, bei denen keinerlei bewegliche Teile mit dem Gas in Berührung kommen. Für besonders reine Gase kann der Druckminderer eine zusätzliche Oberflächenbehandlung erhalten. Beispielsweise kann der Spezial-Edelstahl 316L (einfach oder doppelt geschmolzen/VAR) eine Oberflächenbehandlung zum erweiterten Schutz vor Korrosion erfordern, da diese die Ausrüstung beschädigen und die Reinheit des Gases beeinträchtigen würde.
Präzision
Nicht nur Typ und Material sind ausschlaggebend, sondern auch, wo in der Leitung der UHP-Druckminderer eingesetzt werden soll. Für hochpräzise Anwendungen müssen der Versorgungsdruck und der maximale Gasdurchfluss berücksichtigt werden.
Wenn der Druckminderer unmittelbar an der Gasflasche installiert wird, muss er in der Lage sein, einen extrem hohen Eingangsdruck von bis zu 240 Bar zu bewältigen und diesen beim Eintritt in die Leitungen, die einen viel niedrigeren Druck aufweisen, zu reduzieren. Befindet sich der Druckminderer hingegen am Point-of-use, wo der Eingangsdruck relativ niedrig ist, müssen Ausgangsdruck sowie Durchfluss für die jeweilige Anwendung sehr präzise eingestellt werden können.
Druckentlastung
Der UHP-Produktkatalog von Rotarex liefert alle wichtigen Informationen auf einen Blick. Hier findet man Lösungen für alle spezifischen Anforderungen.
